Fokussierte Ionenstrahl-Technik (FIB) in der Mikro- und Nanomechanik

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Fokussierte Ionenstrahl-Technik (FIB) in der Mikro- und Nanomechanik. / Motz, Christian; Kiener, Daniel; Schöberl, Thomas et al.
Handbuch der Nanoanalytik. 2005. S. 162-163.

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Motz, C, Kiener, D, Schöberl, T, Pippan, R & Dehm, G 2005, Fokussierte Ionenstrahl-Technik (FIB) in der Mikro- und Nanomechanik. in Handbuch der Nanoanalytik. S. 162-163.

APA

Motz, C., Kiener, D., Schöberl, T., Pippan, R., & Dehm, G. (2005). Fokussierte Ionenstrahl-Technik (FIB) in der Mikro- und Nanomechanik. In Handbuch der Nanoanalytik (S. 162-163)

Vancouver

Motz C, Kiener D, Schöberl T, Pippan R, Dehm G. Fokussierte Ionenstrahl-Technik (FIB) in der Mikro- und Nanomechanik. in Handbuch der Nanoanalytik. 2005. S. 162-163

Author

Motz, Christian ; Kiener, Daniel ; Schöberl, Thomas et al. / Fokussierte Ionenstrahl-Technik (FIB) in der Mikro- und Nanomechanik. Handbuch der Nanoanalytik. 2005. S. 162-163

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TY - CHAP

T1 - Fokussierte Ionenstrahl-Technik (FIB) in der Mikro- und Nanomechanik

AU - Motz, Christian

AU - Kiener, Daniel

AU - Schöberl, Thomas

AU - Pippan, Reinhard

AU - Dehm, Gerhard

PY - 2005

Y1 - 2005

M3 - Beitrag in Buch/Sammelband

SP - 162

EP - 163

BT - Handbuch der Nanoanalytik

ER -