Fokussierte Ionenstrahl-Technik (FIB) in der Mikro- und Nanomechanik
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Autoren
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Details
| Titel in Übersetzung | Fokussierte Ionenstrahl-Technik (FIB) in der Mikro- und Nanomechanik |
|---|---|
| Originalsprache | Deutsch |
| Titel | Handbuch der Nanoanalytik |
| Seiten | 162-163 |
| Status | Veröffentlicht - 2005 |
