Entwicklung und Simulation einer "Run to Run" Regelungsschleife für Ofenprozesse in der Halbleiterindustrie
Research output: Thesis › Master's Thesis (University Course) › peer-review
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Entwicklung und Simulation einer "Run to Run" Regelungsschleife für Ofenprozesse in der Halbleiterindustrie. / Fischer, Christian Thomas.
2004. 90 p.
2004. 90 p.
Research output: Thesis › Master's Thesis (University Course) › peer-review
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Fischer, CT 2004, 'Entwicklung und Simulation einer "Run to Run" Regelungsschleife für Ofenprozesse in der Halbleiterindustrie', Dipl.-Ing., Montanuniversitaet Leoben (000).
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Fischer, C. T. (2004). Entwicklung und Simulation einer "Run to Run" Regelungsschleife für Ofenprozesse in der Halbleiterindustrie. [Master's Thesis (University Course), Montanuniversitaet Leoben (000)].
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TY - THES
T1 - Entwicklung und Simulation einer "Run to Run" Regelungsschleife für Ofenprozesse in der Halbleiterindustrie
AU - Fischer, Christian Thomas
PY - 2004/11/25
Y1 - 2004/11/25
M3 - Master Thesis (Universitätslehrgang)
ER -
