Entwicklung und Simulation einer "Run to Run" Regelungsschleife für Ofenprozesse in der Halbleiterindustrie
Publikationen: Thesis / Studienabschlussarbeiten und Habilitationsschriften › Master Thesis (Universitätslehrgang) › (peer-reviewed)
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Entwicklung und Simulation einer "Run to Run" Regelungsschleife für Ofenprozesse in der Halbleiterindustrie. / Fischer, Christian Thomas.
2004. 90 S.
2004. 90 S.
Publikationen: Thesis / Studienabschlussarbeiten und Habilitationsschriften › Master Thesis (Universitätslehrgang) › (peer-reviewed)
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Fischer, CT 2004, 'Entwicklung und Simulation einer "Run to Run" Regelungsschleife für Ofenprozesse in der Halbleiterindustrie', Dipl.-Ing., Montanuniversität Leoben (000).
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Fischer, C. T. (2004). Entwicklung und Simulation einer "Run to Run" Regelungsschleife für Ofenprozesse in der Halbleiterindustrie. [Master Thesis (Universitätslehrgang), Montanuniversität Leoben (000)].
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TY - THES
T1 - Entwicklung und Simulation einer "Run to Run" Regelungsschleife für Ofenprozesse in der Halbleiterindustrie
AU - Fischer, Christian Thomas
PY - 2004/11/25
Y1 - 2004/11/25
M3 - Master Thesis (Universitätslehrgang)
ER -
