Entwicklung und Simulation einer "Run to Run" Regelungsschleife für Ofenprozesse in der Halbleiterindustrie

Publikationen: Thesis / Studienabschlussarbeiten und HabilitationsschriftenMaster Thesis (Universitätslehrgang)(peer-reviewed)

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Entwicklung und Simulation einer "Run to Run" Regelungsschleife für Ofenprozesse in der Halbleiterindustrie. / Fischer, Christian Thomas.
2004. 90 S.

Publikationen: Thesis / Studienabschlussarbeiten und HabilitationsschriftenMaster Thesis (Universitätslehrgang)(peer-reviewed)

APA

Fischer, C. T. (2004). Entwicklung und Simulation einer "Run to Run" Regelungsschleife für Ofenprozesse in der Halbleiterindustrie. [Master Thesis (Universitätslehrgang), Montanuniversität Leoben (000)].

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@phdthesis{d9121351ab9f4d509b5fb135b4b18640,
title = "Entwicklung und Simulation einer {"}Run to Run{"} Regelungsschleife f{\"u}r Ofenprozesse in der Halbleiterindustrie",
author = "Fischer, {Christian Thomas}",
year = "2004",
month = nov,
day = "25",
language = "Deutsch",
type = "Master's Thesis (University Course)",
school = "Montanuniversit{\"a}t Leoben (000)",

}

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TY - THES

T1 - Entwicklung und Simulation einer "Run to Run" Regelungsschleife für Ofenprozesse in der Halbleiterindustrie

AU - Fischer, Christian Thomas

PY - 2004/11/25

Y1 - 2004/11/25

M3 - Master Thesis (Universitätslehrgang)

ER -