Entwicklung und Simulation einer "Run to Run" Regelungsschleife für Ofenprozesse in der Halbleiterindustrie
Publikationen: Thesis / Studienabschlussarbeiten und Habilitationsschriften › Master Thesis (Universitätslehrgang) › (peer-reviewed)
Autoren
Organisationseinheiten
Details
| Titel in Übersetzung | Development and simulation of a run to run controller for semiconductor furnace processes |
|---|---|
| Originalsprache | Deutsch |
| Qualifikation | Dipl.-Ing. |
| Gradverleihende Hochschule | |
| Betreuer/-in / Berater/-in |
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| Status | Veröffentlicht - 25 Nov. 2004 |
