Towards high-rate magnetron sputter deposition: Influence of discharge power on deposition process and coating properties
Publikationen: Konferenzbeitrag › Vortrag › Forschung › (peer-reviewed)
Autoren
Organisationseinheiten
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Status | Veröffentlicht - 25 Apr. 2017 |
| Veranstaltung | 44th International Conference on Metal Coatings and Thin Films 2017 - San Diego, USA / Vereinigte Staaten Dauer: 23 Apr. 2017 → 28 Apr. 2017 |
Konferenz
| Konferenz | 44th International Conference on Metal Coatings and Thin Films 2017 |
|---|---|
| Kurztitel | 44th ICMCTF |
| Land/Gebiet | USA / Vereinigte Staaten |
| Ort | San Diego |
| Zeitraum | 23/04/17 → 28/04/17 |
