Thickness Dependence of crack initiation and propagation in stacks for piezoelectric microelectromechanical systems
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Autoren
Organisationseinheiten
Details
| Originalsprache | undefiniert/unbekannt |
|---|---|
| Seiten (von - bis) | 245-252 |
| Fachzeitschrift | Acta Materialia |
| Jahrgang | 191 |
| DOIs | |
| Status | Veröffentlicht - Juni 2020 |
