The origin of stresses in magnetron-sputtered thin films with zone T structures

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Autoren

Titel in Übersetzung	The origin of stresses in magnetron-sputtered thin films with zone T structures
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	2621-2633
Fachzeitschrift	Acta materialia
Jahrgang	58
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.actamat.2009.12.048
Status	Veröffentlicht - 2010