The effect of the discharge power on target poisoning and microstructure - property relations of reactively sputtered TiN coatings
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Autoren
Organisationseinheiten
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Status | Veröffentlicht - Dez. 2015 |
| Veranstaltung | MIATEC RSD 2015 - CNAM, Paris, Frankreich Dauer: 8 Dez. 2015 → 11 Dez. 2015 |
Konferenz
| Konferenz | MIATEC RSD 2015 |
|---|---|
| Land/Gebiet | Frankreich |
| Ort | Paris |
| Zeitraum | 8/12/15 → 11/12/15 |
