Structure, stresses and stress relaxation of TiN/Cu multilayer and nanocomposite coatings

Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

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Details

Titel in ÜbersetzungStructure, stresses and stress relaxation of TiN/Cu multilayer and nanocomposite coatings
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)114-118
FachzeitschriftInternational journal of materials research : IJMR ; Zeitschrift für Metallkunde
Jahrgang100
StatusVeröffentlicht - 2009