Structure, stresses and stress relaxation of TiN/Ag nanocomposite films
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Details
Titel in Übersetzung | Structure, stresses and stress relaxation of TiN/Ag nanocomposite films |
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Originalsprache | Englisch |
Seiten (von - bis) | 3606-3610 |
Fachzeitschrift | Journal of nanoscience and nanotechnology |
Jahrgang | 9 |
Status | Veröffentlicht - 2009 |