Structure and thermal stability of arc evaporated (Ti0.33Al0.67)1-xSixN thin films

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Autoren

Titel in Übersetzung	Structure and thermal stability of arc evaporated (Ti0.33Al0.67)1-xSixN thin films
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	714-721
Fachzeitschrift	Thin solid films
Jahrgang	517
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.tsf.2008.08.126
Status	Veröffentlicht - 2008