Structure and properties of magnetron sputtered Zr-Si-N films with a high (≥25 at.%) Si content
Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
Autoren
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Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Fachzeitschrift | Thin solid films |
| DOIs | |
| Status | Veröffentlicht - 2005 |
