Structure and properties of magnetron sputtered Zr-Si-N films with a high (≥25 at.%) Si content

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Autoren

J. Musil
R. Daniel
P. Zeman
O. Takai

Organisationseinheiten

Lehrstuhl für Metallkunde (420)

Details

Originalsprache	Englisch
Fachzeitschrift	Thin solid films
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.tsf.2004.11.190
Status	Veröffentlicht - 2005

Universität Leoben/Forschungsportal