Structure and mechanical properties of CrN/TiN multilayer coatings prepared by a combined HIPIMS/UBMS deposition technique

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Autoren

Titel in Übersetzung	Structure and mechanical properties of CrN/TiN multilayer coatings prepared by a combined HIPIMS/UBMS deposition technique
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	1239-1244
Fachzeitschrift	Thin solid films
Jahrgang	517
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.tsf.2008.06.080
Status	Veröffentlicht - 2008