Structural and mechanical properties of dc and pulsed dc reactive magnetron sputtered V2O5 films

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Autoren

Titel in Übersetzung	Structural and mechanical properties of dc and pulsed dc reactive magnetron sputtered V2O5 films
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	7716-7719
Fachzeitschrift	Journal of physics / D, Applied physics
Jahrgang	40
DOIs	https://doi.org/10.1088/0022-3727/40/24/019
Status	Veröffentlicht - 2007