Microstructure-property relations of reactively magnetron sputtered VCxNy films

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Autoren

Titel in Übersetzung	Microstructure-property relations of reactively magnetron sputtered VCxNy films
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	3805-3809
Fachzeitschrift	Surface & coatings technology
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2011.01.037
Status	Veröffentlicht - 2011