Structural and mechanical evolution of reactively and non-reactively sputterd Zr-Al-N thin films during annealing

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Autoren

Titel in Übersetzung	Structural and mechanical evolution of reactively and non-reactively sputterd Zr-Al-N thin films during annealing
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	52-56
Fachzeitschrift	Surface & coatings technology
Jahrgang	244
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2014.01.049
Status	Veröffentlicht - 2014