Sputtered molybdenum films: structure and property evolution with film thickness

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Autoren

Titel in Übersetzung	Sputtered molybdenum films: structure and property evolution with film thickness
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	149-152
Fachzeitschrift	Vacuum
Jahrgang	99
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2013.05.018
Status	Veröffentlicht - 2014