Sputter deposition of Mo-based multicomponent thin films from rotatable targets : Experiment and simulation
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Autoren
Organisationseinheiten
Externe Organisationseinheiten
- Slovak University of Technology, Bratislava
- Plansee SE, Reutte
- Erich-Schmid-Institut für Materialwissenschaft der Österreichischen Akademie der Wissenschaften
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Seiten (von - bis) | 1029-1036 |
| Fachzeitschrift | Applied surface science |
| Jahrgang | 455 |
| DOIs | |
| Status | Veröffentlicht - 2018 |
