Simulations of Liquid Film Flows with Free Surface on Rotating Silicon Wafers

Publikationen: Beitrag in Buch/Bericht/KonferenzbandBeitrag in Konferenzband

Autoren

  • Doris Prieling
  • Helfried Steiner
  • Markus Junk
  • Frank Holsteyns
  • Felix Staudegger
  • Christiane Lechner
  • Hendrik C. Kuhlmann

Details

Titel in ÜbersetzungSimulations of Liquid Film Flows with Free Surface on Rotating Silicon Wafers
OriginalspracheEnglisch
TitelMAS 2011 CD-ROM Proceedings
Seiten149-154
StatusVeröffentlicht - 2011