Simulations of Liquid Film Flows with Free Surface on Rotating Silicon Wafers
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Details
Titel in Übersetzung | Simulations of Liquid Film Flows with Free Surface on Rotating Silicon Wafers |
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Originalsprache | Englisch |
Titel | MAS 2011 CD-ROM Proceedings |
Seiten | 149-154 |
Status | Veröffentlicht - 2011 |