Simulation von EUV Spiegeln

Publikationen: KonferenzbeitragPosterTransfer

Standard

Simulation von EUV Spiegeln. / Meisels, Ronald.
2017. Postersitzung präsentiert bei WerWasWo. Forschung@MUL 2017, Leoben, Österreich.

Publikationen: KonferenzbeitragPosterTransfer

Harvard

Meisels, R 2017, 'Simulation von EUV Spiegeln', WerWasWo. Forschung@MUL 2017, Leoben, Österreich, 13/11/17 - 28/11/17.

APA

Meisels, R. (2017). Simulation von EUV Spiegeln. Postersitzung präsentiert bei WerWasWo. Forschung@MUL 2017, Leoben, Österreich.

Vancouver

Meisels R. Simulation von EUV Spiegeln. 2017. Postersitzung präsentiert bei WerWasWo. Forschung@MUL 2017, Leoben, Österreich.

Author

Meisels, Ronald. / Simulation von EUV Spiegeln. Postersitzung präsentiert bei WerWasWo. Forschung@MUL 2017, Leoben, Österreich.

Bibtex - Download

@conference{35149a4fa7524fe0a5c01c9486f57dd5,
title = "Simulation von EUV Spiegeln",
keywords = "EUV Lithographie ",
author = "Ronald Meisels",
year = "2017",
month = nov,
day = "15",
language = "Deutsch",
note = "WerWasWo. Forschung@MUL 2017 ; Conference date: 13-11-2017 Through 28-11-2017",

}

RIS (suitable for import to EndNote) - Download

TY - CONF

T1 - Simulation von EUV Spiegeln

AU - Meisels, Ronald

PY - 2017/11/15

Y1 - 2017/11/15

KW - EUV Lithographie

M3 - Poster

T2 - WerWasWo. Forschung@MUL 2017

Y2 - 13 November 2017 through 28 November 2017

ER -