Stana, K. K.,
Spirk, S.,
Griesser, T.,
Kern, W.,
Kargl, R. &
Ribitsch, V.,
30 Nov. 2015, IPC Nr. G03F 7/ 00 C I, Patent Nr. SI2784586 (T1),
30 Nov. 2015, Prioritätsdatum
27 März 2013, Prioritätsnr. EP20130002404
Publikationen: Patent › Patentschrift