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  1. 2021
  2. Veröffentlicht

    Bragg mirrors with modified period for sub-10-nm wavelengths

    Meisels, R. & Kuchar, F., 8 Nov. 2021, in: OSA continuum. 4.2021, 11, S. 2875-2891 17 S.

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  3. 2020
  4. Veröffentlicht

    Multilayer Mirrors for Radiation Beyond the Extreme Ultraviolet

    Meisels, R. & Kuchar, F., 26 Feb. 2020.

    Publikationen: Konferenzbeitrag › Poster › Forschung › (peer-reviewed)

  5. 2018
  6. Veröffentlicht

    Simulation von EUV-Spiegeln

    Meisels, R., 17 Mai 2018.

    Publikationen: Konferenzbeitrag › Poster › Transfer

  7. Veröffentlicht

    Photonic superlattice multilayers for EUV lithography infrastructure

    Kuchar, F. & Meisels, R., 1 Jan. 2018, 34th European Mask and Lithography Conference. SPIE, Band 10775. 1077503

    Publikationen: Beitrag in Buch/Bericht/Konferenzband › Beitrag in Konferenzband

  8. 2017
  9. Veröffentlicht

    EUV Bragg reflectors with photonic superlattices

    Meisels, R. & Kuchar, F., 11 Dez. 2017, in: Optics express. 25.2017, 26, S. 32215-32226 12 S.

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  10. Veröffentlicht

    Simulation von EUV Spiegeln

    Meisels, R., 15 Nov. 2017.

    Publikationen: Konferenzbeitrag › Poster › Transfer

  11. Veröffentlicht

    Numerical study of the influence of irradiation parameters on the microwave-induced stresses in granite

    Toifl, M., Hartlieb, P., Meisels, R., Antretter, T. & Kuchar, F., 2017, in: Minerals engineering. 103-104.2017, April, S. 78-92 15 S.

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  12. 2016
  13. Veröffentlicht

    Numerical Studies on the Application of Photonic Crystals for EUV mirrors

    Meisels, R. & Kuchar, F., 29 Sept. 2016.

    Publikationen: Konferenzbeitrag › Vortrag › Forschung › (peer-reviewed)

  14. Veröffentlicht

    Bragg meets Moore: Photonic Crystals for the Extreme Ultraviolet

    Kuchar, F. & Meisels, R., 11 Apr. 2016.

    Publikationen: Konferenzbeitrag › Vortrag › Forschung › (peer-reviewed)

  15. Veröffentlicht

    Numerical study of the influence of irradiation parameters on the microwave-induced stresses in granite for industrial applications

    Toifl, M., Hartlieb, P., Meisels, R., Antretter, T. & Kuchar, F., 11 Apr. 2016, Comminution '16 - Proceedings.

    Publikationen: Beitrag in Buch/Bericht/Konferenzband › Beitrag in Konferenzband

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