Restrictions of stress measurements using the curvature method by thermally induced plastic deformation of silicon substrates
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- Materials Center Leoben Forschungs GmbH
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| Titel in Übersetzung | Limitierung der Spannungsmessung durch die Biegebalknemethode auf Grund thermisch aktivierter plastischer Verformung der Siliziumsubstrate |
|---|---|
| Originalsprache | Englisch |
| Seiten (von - bis) | 68-75 |
| Seitenumfang | 8 |
| Fachzeitschrift | Surface & coatings technology |
| Jahrgang | 274 |
| Status | Veröffentlicht - 25 Juli 2015 |
