Rapid determination of stress factors and absolute residual stresses in thin films
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Details
Titel in Übersetzung | Rapid determination of stress factors and absolute residual stresses in thin films |
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Originalsprache | Englisch |
Seiten (von - bis) | 777-783 |
Fachzeitschrift | Journal of applied crystallography |
Jahrgang | 39 |
DOIs | |
Status | Veröffentlicht - 2006 |