Phase stability and decomposition products of Ti-Al-Ta-N thin films
Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
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Details
| Titel in Übersetzung | Phase stability and decomposition products of Ti-Al-Ta-N thin films |
|---|---|
| Originalsprache | Englisch |
| Seiten (von - bis) | 151901-1-151901-3 |
| Fachzeitschrift | Applied physics letters |
| Jahrgang | 97 |
| Status | Veröffentlicht - 2010 |
