Nanostructure formation on ion-eroded SiGe film surfaces

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Autoren

Titel in Übersetzung	Nanostructure formation on ion-eroded SiGe film surfaces
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	281-291
Fachzeitschrift	Superlattices and microstructures
Jahrgang	36
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.spmi.2004.08.003
Status	Veröffentlicht - 2004