Nanoscale morphological and electrical homogeneity of HfO2 and ZrO2 thin films

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Autoren

Titel in Übersetzung	Nanoscale morphological and electrical homogeneity of HfO2 and ZrO2 thin films
Originalsprache	Englisch
Fachzeitschrift	Journal of applied physics
Jahrgang	97
DOIs	https://doi.org/10.1063/1.1885166
Status	Veröffentlicht - 2005