Nano-scale characterization of high-k dielectric materials by conducting atomic force microscopy
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Autoren
Organisationseinheiten
Details
| Titel in Übersetzung | Nano-scale characterization of high-k dielectric materials by conducting atomic force microscopy |
|---|---|
| Originalsprache | Englisch |
| Status | Veröffentlicht - 2005 |
| Veranstaltung | 52nd Annual International Symposium of the American Vacuum Society (AVS) - Boston, USA / Vereinigte Staaten Dauer: 31 Okt. 2005 → 4 Nov. 2005 |
Konferenz
| Konferenz | 52nd Annual International Symposium of the American Vacuum Society (AVS) |
|---|---|
| Land/Gebiet | USA / Vereinigte Staaten |
| Ort | Boston |
| Zeitraum | 31/10/05 → 4/11/05 |
