Mitigating Focused Ion Beam Damage in Molybdenum Nanopillars by In Situ Annealing

Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

Autoren

  • Matt B. Lowry
  • B. B. Le Blanc
  • Claire Chisholm
  • Jeff N. Florando
  • J. W. Jr Morris
  • Andrew M. Minor

Organisationseinheiten

Details

Titel in ÜbersetzungMitigating Focused Ion Beam Damage in Molybdenum Nanopillars by In Situ Annealing
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)1748-1749
FachzeitschriftMicroscopy and microanalysis
Jahrgang16
DOIs
StatusVeröffentlicht - 2010