Microstructure, mechanical and optical properties of TiAlON coatings sputter-deposited with varying oxygen partial pressures

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Autoren

Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	1-9
Seitenumfang	9
Fachzeitschrift	Journal of physics / D, Applied physics
Jahrgang	49
DOIs	https://doi.org/doi:10.1088/0022-3727/49/2/025307
Status	Veröffentlicht - 2016