Microstructure, mechanical and optical properties of TiAlON coatings sputter-deposited with varying oxygen partial pressures

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Autoren

Originalsprache	Englisch
Fachzeitschrift	Journal of physics / D, Applied physics
DOIs	https://doi.org/10.1088/0022-3727/49/2/025307
Status	Veröffentlicht - 2015