Magnetic field strength influence on the reactive magnetron sputter deposition of Ta2O5
Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
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Details
| Titel in Übersetzung | Magnetic field strength influence on the reactive magnetron sputter deposition of Ta2O5 |
|---|---|
| Originalsprache | Englisch |
| Seiten (von - bis) | 335203-335210 |
| Fachzeitschrift | Journal of physics / D, Applied physics |
| Jahrgang | 46 |
| DOIs | |
| Status | Veröffentlicht - 2013 |
