Ion bombardment induced morphology modifications on self-organized semiconductor surfaces

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Autoren

Titel in Übersetzung	Ion bombardment induced morphology modifications on self-organized semiconductor surfaces
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	178-184
Fachzeitschrift	Nuclear instruments & methods in physics research / B Beam interactions with materials and atoms
Jahrgang	216
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.nimb.2003.11.076
Status	Veröffentlicht - 2004