Influences of the nitrogen content on the morphological, chemical and optical properies of pulsed laser deposited silicon nitride thin films

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Autoren

Titel in Übersetzung	Influences of the nitrogen content on the morphological, chemical and optical properies of pulsed laser deposited silicon nitride thin films
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	225-230
Fachzeitschrift	Surface & coatings technology
Jahrgang	192
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2004.04.080
Status	Veröffentlicht - 2005