Influences of the nitrogen content on the morphological, chemical and optical properies of pulsed laser deposited silicon nitride thin films

Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

Autoren

  • Juergen Lackner
  • Wolfgang Waldhauser
  • R. Berghauser
  • M. Beutl
  • G. Jakopic
  • G. Leising
  • H. Hutter
  • M. Rosner
  • Thomas Schöberl

Organisationseinheiten

Details

Titel in ÜbersetzungInfluences of the nitrogen content on the morphological, chemical and optical properies of pulsed laser deposited silicon nitride thin films
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)225-230
FachzeitschriftSurface & coatings technology
Jahrgang192
DOIs
StatusVeröffentlicht - 2005