Influences of the nitrogen content on the morphological, chemical and optical properies of pulsed laser deposited silicon nitride thin films
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Titel in Übersetzung | Influences of the nitrogen content on the morphological, chemical and optical properies of pulsed laser deposited silicon nitride thin films |
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Originalsprache | Englisch |
Seiten (von - bis) | 225-230 |
Fachzeitschrift | Surface & coatings technology |
Jahrgang | 192 |
DOIs | |
Status | Veröffentlicht - 2005 |