Influence of the N2 partial pressure on structure and properties of Zr1-xAlxN thin films
Publikationen: Konferenzbeitrag › Poster › Forschung › (peer-reviewed)
Autoren
Organisationseinheiten
Details
| Titel in Übersetzung | Influence of the N2 partial pressure on structure and properties of Zr1-xAlxN thin films |
|---|---|
| Originalsprache | Englisch |
| Status | Veröffentlicht - 2012 |
| Veranstaltung | 13th International Conference on Plasma Surface Engineering - Garmisch-Partenkirchen, Deutschland Dauer: 10 Sept. 2012 → 14 Sept. 2012 |
Konferenz
| Konferenz | 13th International Conference on Plasma Surface Engineering |
|---|---|
| Kurztitel | PSE2012 |
| Land/Gebiet | Deutschland |
| Ort | Garmisch-Partenkirchen |
| Zeitraum | 10/09/12 → 14/09/12 |
