High resolution determination of local residual stress gradients in single- and multilayer thin film systems
Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
Autoren
Organisationseinheiten
Externe Organisationseinheiten
- Materials Center Leoben Forschungs GmbH
- Empa -Swiss Federal Laboratories for Materials Science and Technology, Thun
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Seiten (von - bis) | 616-623 |
| Fachzeitschrift | Acta materialia |
| Jahrgang | 103 |
| DOIs | |
| Status | Veröffentlicht - 2016 |
