Experiment and simulation of the compositional evolution of Ti-B thin films by sputtering of a compound target

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Autoren

Titel in Übersetzung	Experiment and simulation of the compositional evolution of Ti-B thin films by sputtering of a compound target
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	063304-1-063304-10
Fachzeitschrift	Journal of applied physics
Jahrgang	104
DOIs	https://doi.org/10.1063/1.2978211
Status	Veröffentlicht - 2008