Experiment and simulation of the compositional evolution of Ti-B thin films by sputtering of a compound target
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Details
| Titel in Übersetzung | Experiment and simulation of the compositional evolution of Ti-B thin films by sputtering of a compound target |
|---|---|
| Originalsprache | Englisch |
| Seiten (von - bis) | 063304-1-063304-10 |
| Fachzeitschrift | Journal of applied physics |
| Jahrgang | 104 |
| DOIs | |
| Status | Veröffentlicht - 2008 |
