Effect of Grain Size on the Residual Stress State and Thermal Expansion in Magnetron Sputtered Thin Films
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Details
| Titel in Übersetzung | Effect of Grain Size on the Residual Stress State and Thermal Expansion in Magnetron Sputtered Thin Films |
|---|---|
| Originalsprache | Englisch |
| Titel | Proceedings 37th International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films |
| Seiten | 63-63 |
| Status | Veröffentlicht - 2010 |
