CO addition in low-pressure chemical vapour deposition of medium-temperature TiCxN1-x based hard coatings

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Autoren

Titel in Übersetzung	CO addition in low-pressure chemical vapour deposition of medium-temperature TiCxN1-x based hard coatings
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	1691-1697
Fachzeitschrift	Surface & coatings technology
Jahrgang	206
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2011.07.086
Status	Veröffentlicht - 2011