Analysis of the thermal and temporal stability of Ta and Ti thin films onto SAW–substrate materials (LiNbO3 and LiTaO3) using AR-XPS
Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
Autoren
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Externe Organisationseinheiten
- Technische Universität Dresden
- IFW Dresden
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Seiten (von - bis) | 570-574 |
| Seitenumfang | 5 |
| Fachzeitschrift | Surface and interface analysis |
| Jahrgang | 48.2016 |
| Ausgabenummer | 7 |
| DOIs | |
| Status | Elektronische Veröffentlichung vor Drucklegung. - 30 März 2016 |
