A capacitance ultrasonic transducer with micromachined backplate for fast flow measurements in hot pulsating gases
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Autoren
Organisationseinheiten
Externe Organisationseinheiten
- Technische Universität Wien
- Preparatory Commission for the Comprehensive Nuclear-Test-Ban Treaty Organization
- Stanford University
- Institute of Electrical and Electronics Engineers
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Aufsatznummer | 1661569 |
| Seiten (von - bis) | 898-905 |
| Seitenumfang | 8 |
| Fachzeitschrift | IEEE sensors journal |
| Jahrgang | 6 |
| Ausgabenummer | 4 |
| DOIs | |
| Status | Veröffentlicht - 1 Aug. 2006 |
