Thin solid films, 0040-6090
Fachzeitschrift: Zeitschrift
| ISSNs | 0040-6090 |
|---|
81 - 83 von 83Seitengröße: 10
Publikationen
- Veröffentlicht
Advanced characterisation of thermo-mechanical fatigue mechanisms of different copper film systems for wafer metallizations
Bigl, S., Wurster, S., Cordill, M. & Kiener, D., 1 Aug. 2016, in: Thin solid films. 612.2016, 1 August, S. 153-164 12 S.Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
- Veröffentlicht
Cross-sectional X-ray nanobeam diffraction analysis of a compositionally graded CrNx thin film
Bartosik, M., Daniel, R., Mitterer, C., Matko, I., Burghammer, M., Mayrhofer, P. H. & Keckes, J., 2013, in: Thin solid films. 542, S. 1-4Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
- Veröffentlicht
Characterization of Tribo-Layers on Self-Lubricating PACVD TiN Coatings
Badisch, E., Mitterer, C., Mayerhofer, P. H., Mori, G., Bakker, R., Brenner, J. & Störi, H., 2004, in: Thin solid films. 460, S. 125-132Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
