SPIE

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Publikationen

  1. Veröffentlicht

    Photonic superlattice multilayers for EUV lithography infrastructure

    Kuchar, F. & Meisels, R., 1 Jan. 2018, 34th European Mask and Lithography Conference. SPIE, Band 10775. 1077503

    Publikationen: Beitrag in Buch/Bericht/Konferenzband › Beitrag in Konferenzband

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