Thermal Stability of Sputtered W-Si-N Coatings
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Autoren
Organisationseinheiten
Details
| Titel in Übersetzung | Thermal Stability of Sputtered W-Si-N Coatings |
|---|---|
| Originalsprache | Englisch |
| Titel | 34 th International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films |
| Seiten | 36-36 |
| Status | Veröffentlicht - 2007 |
