Thermal decomposition routes of CrN hard coatings synthesized by reactive arc evaporation and magnetron sputtering

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Autoren

Titel in Übersetzung	Thermal decomposition routes of CrN hard coatings synthesized by reactive arc evaporation and magnetron sputtering
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	568-574
Fachzeitschrift	Thin solid films
Jahrgang	517
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.tsf.2008.06.086
Status	Veröffentlicht - 2008