The effect of pulsed biasing on the microstructure and mechanical properties of sputtered TiB2 coatings

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Titel in ÜbersetzungThe effect of pulsed biasing on the microstructure and mechanical properties of sputtered TiB2 coatings
OriginalspracheEnglisch
TitelProceedings 12th International Conference on Plasma Surface Engineering
Seiten389-389
StatusVeröffentlicht - 2010