The effect of deposition temperature on microstructure and properties of thermal CVD TiN coatings

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Autoren

Titel in Übersetzung	The effect of deposition temperature on microstructure and properties of thermal CVD TiN coatings
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	120-126
Fachzeitschrift	International journal of refractory metals & hard materials
Jahrgang	26
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.ijrmhm.2007.01.010
Status	Veröffentlicht - 2008