The effect of boron doping on thermal CVD of alumina

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Autoren

  • M Penoy
  • C Michotte
  • H.-P. Martinz
  • Martin Kathrein

Organisationseinheiten

Details

Titel in ÜbersetzungThe effect of boron doping on thermal CVD of alumina
OriginalspracheEnglisch
Titelproc. 17th International Plansee Seminar
Seiten1-10
StatusVeröffentlicht - 2009