Synthesis-structure-property relations for Cr-B-N coatings sputter deposited reactively from a Cr-B target with 20 at% B

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Autoren

Titel in Übersetzung	Synthesis-structure-property relations for Cr-B-N coatings sputter deposited reactively from a Cr-B target with 20 at% B
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	771-776
Fachzeitschrift	Vacuum
Jahrgang	82
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2007.11.003
Status	Veröffentlicht - 2008